BlazeMetrics

Blaze クラス最高の集束ビーム反射率測定: 画像導出弦長分布 (ID-CLD) は、何千ものプロセス開発専門家に馴染みのあるデータと傾向を提供しますが、分散相特性 (固体濃度/サイズ/形状/表面/半透明不透明度) の変化に対する直線性、精度、精度、再現性が大幅に向上しています。

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これらの改善により、プロセスの理解がより良く、より迅速になり、開発時間が短縮され、多くの場合、より優れたより堅牢なプロセスが実現します。
 

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この実現機能を実現するために Blaze は何をしましたか?
 

• ブレイズはパーティクル速度の変化の影響を受けません。粒子の速度は何が変化するのでしょうか?連続相の粘度、分散相の固形分濃度、粒子サイズ、形状、分布、そしてもちろん混合速度や流量の変化。

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• Blaze は測定深度を制限し、分散相濃度や粒子サイズの変化に対する測定の直線性を大幅に向上させます。分散相濃度と粒子サイズの変化は両方とも被写界深度に影響します。この被写界深度を制限することにより、測定の「サンプル」ボリューム (サンプル サイズ) がプロセスの変化に対してより一貫した状態に保たれ、測定の直線性と精度が大幅に向上します。

  • Blaze 限定被写界深度測定ゾーンのさらなる利点は、感度による変化を測定する能力を維持しながら、大幅に高い分散相濃度および/またはより小さいサイズでの操作が可能になることです。

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注: Blaze は、その画像レートと処理速度により、超低分散相濃度でも変化に対して大幅に高い検出と感度を提供します。

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• Blaze は、他のツールでは黒として認識される濃いグレーと、他のツールでは白として認識される明るいグレーを検出します。この拡張された「グレーの陰影」の範囲により、より早期の検出、低分散相濃度から高分散相濃度までのより広い動作範囲、CLD (1d) と 2d 画像処理の両方のより優れたエッジ検出が可能になり、これらすべてが広範囲の変化するプロセス条件にわたって精度の向上につながります。

 

• ​Blaze の「走査ビーム」(ピクセルのライン) の範囲は、Blaze モデルに応じて 130nm ～ 500nm です。比較ツールとしては、Blaze は測定精度と精度の両方に必要な、一桁小さい (高分解能) 検出機能を備えています。他の CLD ツールでは 10um 未満と「推定」されますが、Blaze は実際に 1.5um まで測定します。 BlazeMeso は 400nm までの CLD を測定し、光学特性に応じて 400nm よりも大幅に小さい粒子の存在を検出できることに注意してください。Blaze ツールの検出範囲については、こちらをご覧ください。。

 

• 顕微鏡検査と HDR 濁度を常に備えていることの驚くべき価値は、どれだけ誇張してもしすぎることはありません。これらの直交ツールは、推測を排除し、使いやすさを大幅に向上させ、そして最も重要なことに、プロセスをより深く理解できるようにします。これにより、開発時間が短縮され、多くの場合、より優れた堅牢なプロセスが実現します。 

 

プロセスの理解を深め、開発速度を高めるために、BlazePAT を利用する CRO や CDMO が毎日増えています。現在のコラボレーションをご覧ください ここ。